美國(guó)mks流量計(jì)制品概觀
G系列GE50A013101RMV020質(zhì)量流量控制器的滿量程流量范圍為10 sccm，并針對(duì)氮?dú)?或同等氣體)進(jìn)行了校準(zhǔn)。它有一個(gè)4 VCR型外螺紋接頭和15針D型連接器，接地用于0至5 VDC質(zhì)量流量控制。常閉閥有氟橡膠密封件。g系列質(zhì)量流量控制器利用最新的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)做出快速和可重復(fù)的響應(yīng)。
美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述
GE50A彈性體密封的5-50，000 sccm質(zhì)量流量控制器
技術(shù)規(guī)格
類型：質(zhì)量流量控制器
校準(zhǔn)氣體：N2(或同等產(chǎn)品)
控制范圍：0.2 - 10 sccm
滿量程流量范圍：10 sccm
配件類型：4錄像機(jī)男性
密封材料：氟橡膠
流量輸入輸出信號(hào)：0 - 5伏直流電
模擬連接器：15針D-sub(接地)
最大入口壓力：150磅/平方英寸
正常工作壓差：10至40磅/平方英寸
耐受壓力：1000磅/平方英寸
破裂壓力：1500磅/平方英寸
典型精度：20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2%
可重復(fù)性：讀數(shù)的0.3%
解決：滿量程的0.1%
零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃
跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的% 3c 0.08%/C
入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸
典型建立時(shí)間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%
預(yù)熱時(shí)間：30分鐘
工作溫度：10 - 50攝氏度
儲(chǔ)存濕度：0至95%相對(duì)濕度，非冷凝
儲(chǔ)存溫度：-20至80攝氏度
外部泄漏完整性：%3C1 x 10-09(SCC/秒He)
通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性：高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS，20K - 50K閥門%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS
濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳
表面拋光：16英寸平均半徑
重量：3磅(1.4千克)
服從：英國(guó)國(guó)教會(huì)
GE50A質(zhì)量流量控制器3D模型文件
GE50A，帶1/8英寸管壓縮配件
GE50A 1/8英寸管壓縮配件，9針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 1/8英寸管壓縮配件，15針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 1/8英寸管壓縮配件，9針“D”連接器，RS485
GE50A 1/8英寸管壓縮配件，15針“D”連接器，4-20毫安
GE50A 1/8英寸管壓縮配件，DeviceNet
GE50A 1/8英寸管壓縮配件，EtherCAT
GE50A 1/8英寸管道壓縮配件，Profibus
GE50A，帶1/4英寸管壓縮配件
GE50A 1/4英寸管壓縮配件，9針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 1/4英寸管壓縮配件，15針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 1/4英寸管壓縮配件，9針“D”連接器，RS485
GE50A 1/4英寸管壓縮配件，15針“D”連接器，4-20毫安
GE50A 1/4英寸管壓縮配件，DeviceNet
GE50A 1/4英寸管壓縮接頭，EtherCAT
GE50A 1/4英寸管道壓縮配件，Profibus
GE50A 1/4英寸管壓縮配件，PROFINET
GE50A，帶1/2英寸管壓縮配件
GE50A 1/2英寸管壓縮配件，9針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 1/2英寸管壓縮配件，15針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 1/2英寸管壓縮配件，9針“D”連接器，RS485
GE50A 1/2英寸管壓縮配件，15針“D”連接器，4-20毫安
GE50A 1/2英寸管壓縮配件，DeviceNet
GE50A 1/2英寸管壓縮配件，EtherCAT
GE50A 1/2英寸管道壓縮配件，Profibus
GE50A，帶6mm管壓縮配件
GE50A 6mm管壓縮配件，15針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 6mm管壓縮接頭，9針“D”連接器，RS485
GE50A 6毫米管壓縮配件，15針“D”連接器，4-20毫安
GE50A 6mm管壓縮配件，DeviceNet
GE50A 6mm管壓縮接頭，EtherCAT
GE50A 6mm管壓縮配件，Profibus
GE50A，帶8毫米管壓縮配件
GE50A 8毫米管壓縮配件，9針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 8毫米管壓縮配件，15針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 8毫米管壓縮接頭，9針“D”連接器，RS485
GE50A 8毫米管壓縮配件，15針“D”連接器，4-20毫安
GE50A 8毫米管壓縮配件，DeviceNet
GE50A 8毫米管壓縮接頭，EtherCAT
GE50A 68mm毫米管道壓縮配件，Profibus
GE50A，帶4個(gè)VCO公接頭
GE50A 4 VCO公接頭，9針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 4 VCO公接頭，15針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 4 VCO公接頭，9針“D”連接器，RS485
GE50A 4 VCO公接頭，15針“D”連接器，4-20毫安
GE50A 4 VCO公接頭，DeviceNet
GE50A 4 VCO公接頭，EtherCAT
GE50A 4 VCO公接頭，Profibus
GE50A，帶4個(gè)VCR外螺紋接頭
GE50A 4 VCR公接頭，9針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 4 VCR公接頭，15針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 4 VCR公接頭，9針“D”連接器，RS485
GE50A 4 VCR公接頭，15針“D”連接器，4-20毫安
GE50A 4 VCR公接頭，DeviceNet
GE50A 4 VCR外螺紋接頭，EtherCAT
GE50A 4 VCR外螺紋接頭，Profibus
GE50A 4 VCR外螺紋接頭，PROFINET
GE50A，帶8個(gè)VCR外螺紋接頭
GE50A 8 VCR公接頭，9針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 8 VCR公接頭，15針“D”連接器，0-5v直流
GE50A 8 VCR公接頭，9針“D”連接器，RS485
GE50A 8 VCR公接頭，15針“D”連接器，4-20毫安
GE50A 8 VCR公接頭，DeviceNet
GE50A 8 VCR外螺紋接頭，EtherCAT
GE50A 8 VCR外螺紋接頭，PROFINET