美國BROOKS流量計(jì)汽化產(chǎn)品應(yīng)用
先進(jìn)的汽化技術(shù)可實(shí)現(xiàn)更純凈、更高效的蒸汽生產(chǎn)。
許多工業(yè)和半導(dǎo)體工藝需要將包括水和其他液體前體在內(nèi)的液體轉(zhuǎn)化為高度可控的純蒸汽。
汽化是從液相到氣相的相變。因此，蒸發(fā)器是將液態(tài)材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的任何系統(tǒng)。雖然可以通過多種不同方式實(shí)現(xiàn)汽化，但所有現(xiàn)代汽化器（例如水汽化器）都具有幾個(gè)共同特征：
提高溫度和/或降低液體的環(huán)境壓力
用于捕獲和控制蒸汽流量的封閉系統(tǒng)
利用反饋和控制回路系統(tǒng)來調(diào)節(jié)汽化率
主要應(yīng)用
水汽化/加濕
化學(xué)氣相沉積
沉積薄膜以增強(qiáng)熱、光學(xué)或硬度特性
用于真空聚合物薄膜處理的汽化單體
產(chǎn)生校準(zhǔn)蒸氣
蒸發(fā)液態(tài)碳?xì)浠衔?/div>
蒸汽輸送模塊
超高壓去離子水蒸氣應(yīng)用
僅低于大氣壓的工藝室
產(chǎn)品類別去離子水蒸氣輸送模塊
微分器
高純度 DIW 蒸汽輸送
最高流量精度
緊湊型設(shè)計(jì)
EtherCAT 數(shù)字通信
增強(qiáng)用戶界面
汽化法蒸汽抽吸
流體類型去離子水
最大蒸汽容量
3000 sccm（去離子水）
最大壓力200 托
