海南代理日本HORIBA流量計(jì)質(zhì)量

日本HORIBA流量計(jì)-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)

日本HORIBA  SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)

型號;

 SEC-Z712MGX  SEC-714MGX  SEC-Z722MGX  SEC-Z724MGX  SEC-Z732MGX  SEC-Z734MGX  SEC-Z742MGX  SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復(fù)雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實(shí)現(xiàn)整個(gè)范圍內(nèi)的高速響應(yīng)（1秒內(nèi)）

簡化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器，傳感器，過濾器

穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進(jìn)氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設(shè)計(jì) - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標(biāo)準(zhǔn)）

輕巧的尺寸

50SLM內(nèi)相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet™模式

數(shù)字信號控制


日本HORIBA流量計(jì)規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大50slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于大200slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質(zhì)量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標(biāo)稱流量.

SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質(zhì)量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標(biāo)稱流量.
 

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求，為客戶提升產(chǎn)品價(jià)值。高性能的Z500系列流量計(jì)，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。日本HORIBA流量計(jì)-SEF-Z542質(zhì)量流量計(jì)特征 高精度：設(shè)定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計(jì),美國BROOKS流量計(jì),美國MKS真空計(jì),德國普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。