廣西供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)選型
? HOIRBA集團(tuán)擁有多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應(yīng)系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運(yùn)用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計(jì)穩(wěn)定工作，反應(yīng)源液罐體后端控壓以罐內(nèi)壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。?
? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要：
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場(chǎng)份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理
常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運(yùn)用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時(shí)，管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會(huì)影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會(huì)對(duì)整臺(tái)設(shè)備的造成大威脅。針對(duì)這個(gè)問題HORIBA集團(tuán)研發(fā)出UR-Z700系列，通過響應(yīng)，高精度，穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對(duì)這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的穩(wěn)定運(yùn)行。?
日本HORIBA流量計(jì)特征
高精度：設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng)， 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí)，PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。
復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場(chǎng)更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡(jiǎn)單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。