四川供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)市場報(bào)價(jià)
日本HORIBA流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計(jì)
無錫飛斯卡精密科技有限公司
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測定時(shí)，對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在對流量進(jìn)行計(jì)測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
日本HORIBA流量計(jì)其它型號
SEC- (質(zhì)量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (質(zhì)量流量計(jì))
E40
E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時(shí)?關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2? F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0? F.S.
響應(yīng)速度
1秒以內(nèi)(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復(fù)性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐?壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2
1/4SWL 類型
日本HORIBA流量計(jì)(型號：S48300/HMT)
1，可應(yīng)用行業(yè)：真空鍍膜 表面處理 配氣系統(tǒng)等
2，流量：（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
3，產(chǎn)品特點(diǎn)：
A,高精度
B,良好的線性
C,的響應(yīng)
D,電磁閥使用壽命≥100萬次
E,對零點(diǎn)漂移有效的抑制
F,化的零配件供應(yīng)
G,通訊接口優(yōu)勢
H,多臺控制器可以同時(shí)運(yùn)行
·?適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪?！?低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3如今半導(dǎo)體成為工業(yè)進(jìn)化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導(dǎo)體的微觀世界。HORIBA各個(gè)領(lǐng)域的專家學(xué)者們致力于不同行業(yè)的工程項(xiàng)目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標(biāo)，我們已成功開發(fā)了一系列的分析設(shè)備，液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應(yīng)半導(dǎo)體制程中每一步工藝所需的嚴(yán)格質(zhì)量控制需求。在制程的整個(gè)階段，從材料分析到檢查，HORIBA產(chǎn)品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達(dá)到能。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計(jì),美國BROOKS流量計(jì),美國MKS真空計(jì),德國普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。