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MKS流量控制器
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典型精度:20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1 %, 2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2% 可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3% 解決:滿量程的0.1% 零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃ 跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的% 3c 0.08%/C 入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸 典型建立時(shí)間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5% 預(yù)熱:時(shí)間30分鐘 工作溫度:10 - 50攝氏度儲(chǔ)存濕度:0至95%相對(duì)濕度,非冷凝 儲(chǔ)存溫度:-20至80攝氏度 外部泄漏完整性:%3C1 x 10-09(SCC/秒He) 通過(guò)關(guān)閉的閥門(mén)泄漏完整性:高達(dá)10K閥門(mén)%3C0.1%的40 psig大氣壓力下的FS,20K - 50K閥門(mén)%3C1.0%的40 psig大氣壓力下的FS 濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳 表面拋光:16英寸平均半徑 重量:3磅(1.4千克)


工作溫度:10-50攝氏度儲(chǔ)存濕度:0至95%相對(duì)濕度,非冷凝儲(chǔ)存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過(guò)關(guān)閉的閥門(mén)泄漏完整性:高達(dá)10K閥門(mén)%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門(mén)%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從英國(guó)國(guó)教會(huì)G系列GE50A013103SMV020數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出和可重復(fù)的響應(yīng)。它的滿量程流量范圍為100sccm,控制范圍為2至1000sccm,具有接地的15引腳D-submixture連接器,以及0-5VDC流量輸入/輸出信號(hào)。美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述


預(yù)熱:時(shí)間30分鐘工作溫度:10-50攝氏度儲(chǔ)存濕度:0至95%相對(duì)濕度,非冷凝儲(chǔ)存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過(guò)關(guān)閉的閥門(mén)泄漏完整性:高達(dá)10K閥門(mén)%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門(mén)%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從:英國(guó)國(guó)教會(huì)


服從:英國(guó)國(guó)教會(huì)無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的供應(yīng)商。 質(zhì)量流量控制事業(yè)部從事銷售服務(wù)世界的MFC,有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格,同時(shí)經(jīng)銷真空 和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、


GE50A采用標(biāo)準(zhǔn)的3英寸尺寸,常用于5sccm至50slm流速范圍內(nèi)的MFC,無(wú)需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設(shè)計(jì)采用了少的彈性體。只有一個(gè)外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則,潤(rùn)濕表面都是金屬的。GE50A標(biāo)配氟橡膠密封件,以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件,允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設(shè)定值準(zhǔn)確度的百分比對(duì)于20%至100%的全刻度流量范圍,包括的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度,使用N2校準(zhǔn)氣體。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)的過(guò)程控制,相對(duì)于滿量程精度而言。對(duì)于2%至20%滿量程的質(zhì)量流量,精度為滿量程的0.2%。

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
 
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷真空
和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子 /
臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀
光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

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