陜西進口美國mks流量計說明書

GE50A采用標準的3英寸尺寸，常用于5sccm至50slm流速范圍內(nèi)的MFC，無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設計采用了少的彈性體。只有一個外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，潤濕表面都是金屬的。GE50A標配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設定值準確度的百分比對于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數(shù)字校準產(chǎn)生1%的設定點精度，使用N2校準氣體。設定點精度可實現(xiàn)的過程控制，相對于滿量程精度而言。對于2%至20%滿量程的質量流量，精度為滿量程的0.2%。

美國mks流量計技術規(guī)格類型：質量流量控制器校準氣體：N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍：20-1000sccm滿量程流量范圍：1000sccm配件類型：4錄像機男性密封材料：氟橡膠流量輸入輸出信號：0-5伏直流電模擬連接器：15針D-sub(接地)大入口壓力：150磅/平方英寸正常工作壓差：10至40磅/平方英寸耐受壓力：1000磅/平方英寸破裂壓力：1500磅/平方英寸典型精度：20至100%滿量程時為設定值的1%,2至20%滿量程時為滿量程的0.2%可重復性：讀數(shù)的0.3%解決：滿量程的0.1%零溫度系數(shù)：%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù)：讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù)：讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時間：%3C750毫秒，典型值高于滿量程的5%預熱時間：30分鐘

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